
面向半导体与晶圆制造的执行系统,把芯片履历、来料、品质与设备数据串起来,让每一片晶圆的生产路径都能被追溯到具体机台与参数。
iMES 定位为半导体制造的制程管控底座:以芯片履历为主线,把来料、机台程式、品质数据与设备状态串成可追溯的记录体系,向上对接订单、向下采集设备,形成垂直整合的执行层。
记录每片晶圆的机台、程式、参数与时间,异常发生时能快速定位影响范围。
芯片来料资讯自动记录并关联生产批,发料时按规则挑片,减少错料风险。
关键参数超出管制线时及时拦截,避免不良品继续流入下道工序。
向上对接 ERP 订单与工单,向下采集设备状态,减少人工转抄。
半导体制造的执行管理与离散装配差别很大:一片晶圆要经过数百道工序,同一批片在不同机台上流转,任何一次混片都可能导致整批报废。因此 iMES 的核心不是“派工”,而是“证明这一片经过了什么”。
系统以芯片履历为主线,记录每片(或每批)在各站点的进站、出站、机台、程式、参数与检验结果。这份履历是追溯的基础——客户投诉时能定位到具体站点,工程变更时能圈定受影响范围。
来料批次之间可能存在差异,投料前需要按规则挑片。系统按挑料规则执行并记录结果,发料与工单绑定。这一步做不实,后续所有追溯都会失去意义,因为无法确认投进去的到底是哪批料。
长晶环节的工艺参数对成品质量影响直接。系统记录长晶过程的關鍵参数与产出结果,形成参数与良率的对应关系。这类数据积累到一定量后,才可能做工艺优化。
半导体制程周期长,若等整批完成才统计良率,问题发现得太晚。系统提供实时品质统计,按站点、按机台看不良分布,让异常在批次结束前就被识别。
iMES 在架构上可以分为五个中心,这个划分对应半导体工厂的五个管理焦点。
管理工单下达、站点派工与在制品状态。半导体的在制品数量大、状态多(等待、加工、检验、暂存),在制品视图的准确性直接决定排产是否可行。
维护工艺路线、机台程式与参数规格。变更走版本控制,变更前后的片批可区分。这一层的严谨程度决定了工程变更时的影响范围能否算清。
记录进料、制程与出货检验结果,做实时统计与异常判定。异常触发隔离与复检流程,避免不良品继续流转。
采集设备运行状态、停机原因与稼动率。半导体设备价值高,稼动率提升一个百分点带来的收益远大于人工节省,因此这一层通常是投资重点。
管理来料、在制品与成品的库房作业,按批次与效期控制。半导体的物料有保存条件与有效期要求,库房管理不是简单的进出记账。
支持自定义收取资讯与自动转档,记录来料与制程履历,可按片号查询完整路径。
自定义挑片规则与流程卡格式,管控发料芯片与生产物料。
收集对应片号、圈别、位置与基板资讯,制造前完成验证片挑选与程式确认。
按工序与机台统计不良分布,结合品质法则进行控卡。
统计机台运行与停机原因,为产能规划与保养排程提供依据。
芯片与物料库房账务在线管理,支持批次与位置追踪。
| 行业适配 | 面向晶圆制造、长晶与芯片制造环节 |
|---|---|
| 追溯粒度 | 支持片号级与批次级追溯 |
| 数据采集 | 设备接口采集与现场录入结合 |
| 系统集成 | 与 ERP 及设备层双向对接 |
| 规则配置 | 挑片规则、流程卡格式与控卡法则可配置 |
| 报表分析 | 履历查询、品质统计与稼动率报表 |
多工序、长流程,依赖片级履历定位异常批次。
对片号、圈别与位置信息要求精细,需专用采集项。
来料批次复杂,需要严格的挑片与验证流程。
iMES 的适配场景集中在“制程长、追溯要求高、设备价值大”这三类特征上。以下四类是最典型的。
工序数百道、周期以周计、设备投资巨大。这类场景对在制品管理与设备稼动的要求较高,追溯颗粒度通常到片。系统需要支撑大规模在制品状态更新,且不能因数据量影响现场操作速度。
封测环节工序相对短,但批次拆分与合并频繁(一片分成多颗、多批合成一批)。系统的难点在批次谱系管理——分合之后仍要能回答“这颗芯片来自哪片晶圆”。
长晶、切磨抛各环节的产出形态不同,从晶棒到硅片存在形态转换。这类场景要求片级履历与工艺参数绑定,且委外环节要能协同。
这类产品批量小于逻辑芯片,但工艺特殊、良率波动大。系统重点在参数与良率的关联分析,以及小批量的灵活派工。
半导体制造的执行系统落地,难点不在功能,而在数据颗粒度与现场节奏的平衡。以下四条经验来自这类项目的共性。
从批次到片级,采集工作量差别很大。若上线后再提高颗粒度,等于重建数据模型。建议在方案阶段就按客户要求与内部管理需要确定,并评估采集设备是否支持。
在制品账不准,排产、追溯、良率分析全部失效。建议上线初期把精力集中在“进出站是否及时准确”,功能可以分批上,账必须先准。
挑片若靠老师傅判断,规则就随人走。把规则写进系统并按工单执行,既保证一致性,也让新员工能按规则作业。规则变更走审批并留痕。
半导体设备停机频繁且原因复杂,人工填报的完整性很难保证。有接口的设备应优先自动采集,人工只补充原因分类。数据完整性直接决定稼动分析的可信度。
半导体工厂的系统运维要求高于一般制造业,因为数据中断会直接影响在制品账与追溯链。
抽查若干批次,核对其站点状态与实际位置是否一致。差异要当天查清,隔夜后现场可能已无法还原。
统计各设备的自动采集覆盖率与人工补录比例。补录比例高的设备,说明接口或采集方案需要优化。
核对在用的工艺版本与机台程式是否与受控清单一致。这项检查是防止混版的关键,尤其在工程变更频繁的阶段。
随机抽取一片或一批,要求系统在限定时间内还原其完整履历。演练暴露的问题,往往比日常巡检更真实。
以下是半导体制造执行系统在选型与实施阶段常被问到的问题。
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