通达智能 OHT天车
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WPS供电
20kHz非接触供电
双构型
磁驱与旋转伺服
±0.5mm
磁驱构型定位精度
E84协议
与设备装卸口对接
⚠️行业痛点与挑战
🔍人工搬送污染
洁净室内人工推车搬送FOUP，人员走动带来颗粒污染，换班与夜班节拍不稳，产品良率受搬送环节牵连，工厂需要无人接触的搬送通道。
⏱️供电部件磨损
传统滑触供电碳刷易磨损，轨道车辆要定期停机换电或回充电位，占用车体也占用节拍，供电维护量随车数增加成倍放大。
🧠吊顶空间紧张
厂房吊顶空间有限，轨道转弯与分歧要精打细算，转弯半径过大布置不下，过小过弯限速，空间与节拍两头受压。
🔗对接偏差返工
装卸口对接偏差大了取放失败，重试占用搬送节拍，超差位置要人工干预复位，定位精度直接决定对接成功率。
📉载具种类繁杂
FOUP、SMIF Reticle、Cassette多种载具并行，单一抓取机构应对不了全部，混线生产时载具适配成为选型难题。
🚧单点故障扩大
单台车故障若拖累整条轨道，产线跟着停运，电柜、网络、服务器任一单点失效都会放大事故面，冗余设计必须有前置安排。
🎯产品定位与核心价值
定位在洁净室上空轨道层，向下服务设备装卸口与OHB暂存位，受天车控制系统调度指挥，适合12寸量产线把空中搬送通道一次布置到位。
💡工程化落地
晶圆厂搬运改造服务的实施方法与交付节奏成熟，上线到见效的路径可复制。
🔁开放协同架构
标准接口对接既有体系，空中搬送系统能力按需叠加而非推倒重建。
🧷场景纵深适配
智能机器人场景的特殊性被专项建模，晶圆厂搬运改造服务需求的覆盖不是套用通用模板。
⚙️核心能力详解
🧮空中轨道行驶
车辆沿吊装轨道行驶，在设备装卸口之间完成FOUP等载具的空中传送，不占地面走道，洁净室地面留给人行与检修通道。
🧱WPS非接触供电
20kHz非接触供电沿轨道向行驶中的车辆送电，无需换电与充电泊位，车辆连续作业，供电轨无碳刷类易损件。
⚡双构型选型
磁驱构型定位精度±0.5mm、转弯半径400mm；旋转伺服构型车重118kg、曲线半径500mm，按产线布局与节拍二选一。
📊多载具兼容
支持FOUP、Frame FOUP、SMIF Reticle与Cassette载具，负载16kg，一台车覆盖晶圆盒与掩膜版两类搬运对象。
🌐标准通讯接口
支持E84与SECS/GEM通讯，无线回传采用WIFI 802.11ax，位置偏差超过±20mm、角度超过±5°可在线调整标定。
🔧系统级冗余
电柜、网络、服务器全系统冗余，边缘计算机可存储地图并计算路径，单点失效不扩大为整线停运。
📐技术规格
| 产品名称 | OHT天车 |
| 所属厂商 | 通达智能 |
| 产品分类 | 智能机器人·空中搬送系统 |
| 核心能力 | 空中轨道行驶、WPS非接触供电、双构型选型 |
| 应用场景 | 新产线轨道布置、设备口对接搬送、OHB暂存衔接 |
| 服务边界 | 空中搬送相关的第三方配合事项在实施清单中单独列明 |
| 替换考虑 | 既有晶圆厂搬运改造服务系统的切换路径可与智能机器人行业惯例对齐 |
| 能力延续 | 空中搬送系统的版本迭代不要求晶圆厂搬运改造服务场景重新配置 |
| 产品定位 | OHT天车·智能机器人领域的产品形态与应用边界 |
🏭典型应用场景
✈️新产线轨道布置
新建12寸产线时，自动化工程师按设备布局规划空中轨道与分歧点，磁驱构型走紧凑弯位，旋转伺服构型跑长直道。轨道与供电轨一次安装到位，车辆随产能爬坡分批上线，吊顶空间按转弯半径预留。
🚗设备口对接搬送
车辆接到调度指令后驶向机台装卸口，按E84握手完成取放，定位精度±0.5mm保证一次对接成功。搬送途中经分歧Guide换线，高速过分歧合流段按3.5m/s通过，节拍不被换线拖慢。联调与点检记录按车编号归档备查。
🔋OHB暂存衔接
轨道下方布置OHB暂存位，等待机台空闲的FOUP先落位暂存，Queue time由此压缩。车辆在机台与OHB之间往返，暂存满位时调度改道，产量不受等待拖累。异常处置的分工与响应时限在规程中写明。
🌊掩膜版载具搬送
光刻区使用SMIF Reticle载具，车辆按载具类型匹配抓取接口，16kg负载覆盖掩膜版盒。搬送全程无线供电无火花无粉尘，洁净等级保持车间要求的水准。参数调整前后各做一次取放试验并留档对比。
🏗️夜班无人作业
夜班产线无人值守，车辆按排定的搬送任务连续运行，非接触供电省去换电停机。值机工程师在后台看车辆状态与报警，现场只处理机械异常，人力投入降到值守一级。
🚢车辆点检维护
维护班按周对车辆行走机构与取放机构点检，供电轨免维护只查外观。位置偏差超过±20mm的车辆在线调整标定，振动超标车辆下线检修，备车顶班不断线。联调与点检记录按车编号归档备查。
🏆典型应用案例
📦
某12寸晶圆厂扩产段
扩产段新增机台数十台，厂方在扩产区一次布置空中轨道与供电轨，磁驱与旋转伺服两种构型按弯位与直道分区混跑。搬送通道避开地面人流，设备装卸口对接一次成功率稳定，扩产爬坡期搬送未成为瓶颈，Queue time明显压缩。
🛫
某封测厂载具混线
封测厂FOUP与Cassette并行使用，厂方选装多载具兼容构型，一个车种覆盖两类载具。按E84与设备口握手取放，SECS/GEM回传状态，夜班连续作业不停线，人工推车班次取消，搬送人员转岗到点检与异常处置。联调与点检记录按车编号归档备查。
🏭
某光刻区掩膜版改造
光刻区掩膜版搬运原靠人工，改造段布置SMIF Reticle兼容轨道车，定位与振动指标按光刻工艺要求验收。改造期间老通道保留并行运行，切换按区分步完成，改造后掩膜版搬送全程无人工接触。联调与点检记录按车编号归档备查。
📦
某车间冗余化改造
产线曾因单点故障整线停运，改造时把电柜、网络、服务器全部双冗余，边缘计算机存地图算路径，调度中断时车辆按本地路径回场。改造后当年未再发生整线停运，故障处置时间从小时级降到分钟级。
🔌接入方式
🖥️与天车控制系统对接
车辆受天车控制系统统一调度，接收搬送指令并回报位置与状态，指令通道走SECS/GEM与E84。接入前按车数规划无线频点与接入点分布，联调时核对指令响应时序。培训覆盖当班人员并留存考核记录。
☁️与设备装卸口
机台装卸口按E84时序对接，取放请求与到位信号逐台联调，FOUP接口按载具外形核对。老旧机台无E84接口的，先行改造接口再纳入搬送网络。载具外形与接口条件在布置前逐项核对。
🤝与OHB暂存位
轨道下方OHB按车数与节拍配置容量，车辆落位信号与暂存位状态互锁。布置前按Queue time目标核算暂存位数，投运后按实际等待分布再调整。异常处置的分工与响应时限在规程中写明。
🧩生态协同与能力底座
🧩上游部件供应
车辆的马达、控制器与供电模块由部件厂商配套，整机厂负责集成与验证。部件批次变更时做回归测试，关键备件按车数建立安全库存。培训覆盖当班人员并留存考核记录。
🔗与厂务工程配合
轨道吊点、供电回路与桥架由厂务工程承建，设备进场前完成结构承载验收。轨道走向变更时双方按变更单执行，吊点调整不占用搬送停线窗口。
🌱与系统集成商
整线搬送由系统集成商统一规划，车辆作为执行单元纳入方案。集成商负责与MES等上位系统的接口编排，车辆侧按协议规范开放状态与指令接口。
🚀产品差异化特点
🌟非接触供电构型
同类空中搬送车多用滑触或电池供电，碳刷磨损与换电泊位是长期负担。这里用WPS非接触供电，轨道上没有易损件，车辆不因充电停驶，维护量集中在车辆本体。
🆚双驱构型并存
磁驱构型定位精度±0.5mm、转弯半径400mm，旋转伺服构型车轻且曲线半径大。一个产品线两种驱动，弯位与直道可按需混布，不必为局部弯道放弃整车性能。
🧬冗余做到系统级
多数方案只做车辆级冗余，这里把电柜、网络、服务器一并双配，边缘计算机存图算路，调度中断时车辆仍可自主回场，事故面收敛在单台。联调与点检记录按车编号归档备查。
✅最佳实践
📝
先核结构承载
空中轨道把车重与载荷挂到厂房结构上，布置前要做吊点承载核算，不是所有吊顶都能挂轨。承载不足的区域先加固再定走向，避免进场后返工。
🔄
弯位分区选构型
两种构型的转弯半径与定位精度不同，布置时按区域选型，紧凑弯位用磁驱，长直道用旋转伺服。混跑前在分歧段做通过性试车，确认互不干涉。
🎯
联调先单车后编队
先跑单车打通取放与时序，再扩到多车编队验证分歧合流。一次铺开多车会让问题交织，定位偏差与握手超时要逐项销项后再加密车距。联调与点检记录按车编号归档备查。
📈
标定纳入保养
位置偏差超过±20mm、角度超过±5°的车辆要在线标定，标定动作纳入周期保养。振动值按月记录，超标车提前下线，不要等取放失败再处理。相关数据按班次汇总供节拍复盘取用。
🗺️企业落地路径
1️⃣
阶段一 轨道铺设
完成吊点承载核算与轨道走向定案，铺设轨道与供电轨，网络与接入点布设到位，验收看轨道精度与供电稳定性。相关数据按班次汇总供节拍复盘取用。
2️⃣
阶段二 单车联调
首台车完成取放联调与标定，E84握手与SECS/GEM回传逐项核对，装卸口对接成功率达标后固化参数。载具外形与接口条件在布置前逐项核对。
3️⃣
阶段三 编队扩车
按节拍分批投车，分歧合流与避让策略调优，OHB暂存按Queue time目标配置，夜班无人作业同步试运行。异常处置的分工与响应时限在规程中写明。
4️⃣
阶段四 常态运维
点检与标定纳入保养日历，备件库存按车数核定，车辆状态看板接入运维值班，年度检修与安全测试固定排期。异常处置的分工与响应时限在规程中写明。
💬常见问题 FAQ
轨道如何布置
轨道沿吊顶下方的空中走廊布置，分歧与合流按机台分布定，转弯半径按构型取400mm或500mm。布置前需要厂房结构承载核算与吊点图，通常由自动化工程师与厂务共同确认走向。
供电怎么解决
车辆采用20kHz非接触供电，供电轨随轨道铺设，轨道上不需充电泊位。供电功率上限900W，车重约106至118kg，供电轨接入厂区电源前按回路做绝缘与接地验收。联调与点检记录按车编号归档备查。
支持哪些载具
支持FOUP、Frame FOUP、SMIF Reticle与Cassette，负载16kg。选型时按本厂载具种类确认抓取接口，两种构型尺寸不同，布置前按载具外形核对通过性。异常处置的分工与响应时限在规程中写明。联调与点检记录按车编号归档备查。
定位精度口径
磁驱构型定位精度±0.5mm，旋转伺服构型±1mm，振动分别小于0.25G与0.35G。验收时按装卸口实测取放成功率核，超差车辆在线调整位置与角度偏置。参数调整前后各做一次取放试验并留档对比。
与设备怎么对接
装卸口按E84协议握手，状态经SECS/GEM上报，无线通讯采用WIFI 802.11ax。对接前需要机台侧E84接口可用，联调时逐台核对握手时序与信号灯逻辑。参数调整前后各做一次取放试验并留档对比。
洁净等级要求
车辆按洁净室标准设计，运行不发尘，适用CLASS等级车间。进入前按洁净室着装与清洁规程执行，走行与刹车部件的颗粒指标在型式试验中核验。联调与点检记录按车编号归档备查。
安全规范依据
车辆按SEMI相关安全规范设计，加减速能力3.0m/s²，过弯限速与防撞策略出厂固化。现场验收时做急停与障碍响应测试，安全回路接入厂区急停系统。联调与点检记录按车编号归档备查。
维护谁负责
日常点检由产线设备科负责，供电轨免维护，车辆走行与取放机构按周期保养。厂商提供备件与年度检修支持，位置标定与参数调整培训随交付完成。联调与点检记录按车编号归档备查。
📄信息来源与免责声明
此页面内容由云巴巴汇总整理，信息来源包括通达智能官方产品资料与公开报道。
页面中的空中搬送系统等描述仅供选型参考，具体功能以官方发布为准。
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