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通达智能 MES制造执行系统

通达智能的MES制造执行系统管理晶圆生产执行过程,覆盖批次派工、工序流转、在制品追踪与追溯报表,采用分布式架构,支持X86服务器部署,供生产与工艺岗位日常使用。
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通达智能 · MES制造执行系统

通达智能 MES制造执行系统

通达智能MES制造执行系统是面向半导体晶圆厂的制造执行平台,把批次派工、工序流转、设备上报与工艺约束放进同一套流程,支持晶圆级追溯,解决晶圆厂工艺复杂、生产控制精度要求高、产能瓶颈难定位的问题。

批次派工晶圆追溯分布式架构跨平台应用防病毒策略产线升级适配
追溯
晶圆级批次追踪
架构
分布式稳定部署
环境
支持Linux与Windows
终端
PDA跨平台使用

⚠️行业痛点与挑战

🔍工艺路线复杂
晶圆生产工序上百道,返工与重入常见,人工排产顾此失彼;批次走到哪一步、卡在哪个机台,生产会上说不清,只能逐条翻记录。
⏱️追溯靠纸质单据
批次信息散在流程卡与交接单上,出现质量问题时反向排查要翻数日记录;问题批次的波及范围圈不准,隔离往往只能整批扩大。
🧠设备状态看不见
机台运行参数与状态没有统一归口,工艺想核对参数得下现场逐台问;设备利用率算不准,产能瓶颈在哪里全凭经验判断。
🔗精度要求难达标
半导体生产对温度、时间与程序版本的控制精度要求高,人工执行容易漏步与超时;漏做一步,整批晶圆就可能报废。
📉系统孤岛多
设备、物料与品质数据各存各的系统,报表靠人工汇总;生产计划变更后下层执行跟不上,排产与实际两张皮。
🚧改造升级顾虑多
老产线已在运转,上新系统怕动现有流程;停线切换影响交付,新旧并行又怕数据对不上,改造计划一拖再拖。

🎯产品定位与核心价值

通达智能的MES制造执行系统管理晶圆生产执行过程,覆盖批次派工、工序流转、在制品追踪与追溯报表,采用分布式架构,支持X86服务器部署,供生产与工艺岗位日常使用。

💡集成有规范
对接半导体MES系统能力的接口遵循统一规范,晶圆厂生产管控平台的扩展不破坏既有链路。
🔁能力成体系
半导体MES系统与晶圆厂生产管控平台并非孤立功能,晶圆厂生产管控平台所需的能力被成体系地提供。
🧷交付可验收
晶圆厂生产管控平台的验收标准在项目启动时确认,半导体MES系统能力的达成度可对照检查。

⚙️核心能力详解

🧮批次派工与工序流转
按工艺路线把批次自动派到目标机台,工序完工即流转到下一站,重入与返工路径按规则放行;在制品状态看板实时刷新,瓶颈工位一眼可见。
🧱晶圆级追溯
以批次与片号为线索记录每次加工的机台、参数与操作员,正向可查批次去向,反向可定位问题来源,追溯报表按需导出留档。
⚡分布式架构部署
系统采用分布式架构,服务可按模块拆分部署,支持X86服务器与Linux、Windows环境,硬件配置要求宽松,后期扩容按模块加节点。
📊跨平台应用
支持PDA等移动终端跨平台接入,现场扫码报工与查询在手持端完成;界面按岗位裁剪,新员工按菜单授权使用,不必培训全功能。
🌐防病毒与轻量维护
系统自带防病毒策略与轻量化IT维护方式,服务器侧统一升级,客户端浏览器访问;日常巡检项在管理台列出,运维按清单执行。
🔧适应工厂升级改造
源于全自动化工厂设计,支持新老产线并存运行;改造时按区域分批切换,旧系统数据按批次核对后迁移,切换期间生产不中断。

📐技术规格

产品名称 MES制造执行系统
所属厂商 通达智能
产品分类 制造执行系统MES·半导体MES系统
核心能力 批次派工与工序流转、晶圆级追溯、分布式架构部署
应用场景 晶圆批次派产执行、质量异常反向追溯、夜班看板交接监控
数据边界 晶圆厂生产管控平台相关数据的归属与访问范围由客户按合规要求确定
部署前提 半导体MES系统的运行环境需与制造执行系统MES场景的既有基础设施相匹配
能力颗粒度 半导体MES系统可按晶圆厂生产管控平台场景的规模逐级启用,初期投入可控
协同机制 晶圆厂生产管控平台与半导体MES系统的接口在实施阶段一并确认,避免后续返工

🏭典型应用场景

✈️晶圆批次派产执行
晶圆批次开工时,计划员在系统下达工单,系统按工艺路线与机台负荷生成派工队列,操作员在机台终端确认接单开工,批次每完成一道工序即自动流转并回写工时,计划员按看板核对当日产出。
🚗质量异常反向追溯
发生质量异常时,品质员按批次号反向追溯,列出该批次经历过的机台、参数与经手人,圈定同机台加工的受影响批次并冻结,处理结论回写批次记录,追溯链完整可查。
🔋夜班看板交接监控
产线夜班运行时,值班员通过看板监控各机台的在制与告警,超时未完工的批次标红提醒;交接班时系统生成本班产出与异常汇总,接班人按汇总核对现场后签收确认。
🌊新工艺导入验证
新工艺导入时,工艺员为试验批次挂专用工艺路线,设定对比组与采集项,验证数据单独归集出报表;多轮试跑数据对比后,验证通过的路线发布到正式产线执行。
🏗️产能瓶颈盘点分析
产能盘点时,生产经理按机台调取利用率与在制分布,系统按周出瓶颈分析并列出等待最长的工序;据此调整派工规则,下月报表对比改进效果并留档。
🚢老厂分区域切换
老厂改造切换时,项目组按区域制定切换计划,新旧系统并行两周,每日核对批次数据一致性;差异清单当日处理,区域验收合格后停用旧系统入口。

🏆典型应用案例

📦
某晶圆制造厂
工艺步骤多、重入路径复杂,交期经常误点;上线后按系统派工执行,批次流转与机台负荷可视化,排产会从翻表改成看板决策,卡批即时调度,交期达成情况逐月改善,追溯查询也从数日缩短到当天出结果。
🛫
某半导体封测车间
质量问题反查要翻多个部门的记录,隔离范围只能整批扩大;批次级追溯上线后,问题批次很快定位到机台与参数,受影响范围按记录精确圈定,隔离数量明显减少,客诉回复材料直接从系统导出。
🏭
某新建晶圆产线
设备与系统由不同供应商分头交付,联调扯皮多;项目组以MES为执行主线,先定接口清单再分步接入,设备数据逐台验收,投片前完成全链路贯通,爬坡期产能按周爬升,数据口径从投产起就统一。
📦
某老厂升级改造
担心停线切换影响交付,改造计划一拖再拖;分区域并行切换后,每日核对新旧数据差异,问题当周清零,每个区域验收合格再切下一个,全程未停一天线,旧系统退役后运维人力也省了下来。

🔌接入方式

🖥️与EAP设备自动化系统对接
设备侧的采集与控制指令走EAP,MES按工单事件与其交互;对接前约定事件清单与重试规则,联调时逐台核对状态回传,接口日志按日归档,异常事件单独列出复盘。
☁️与ERP系统对接
工单与物料需求从ERP按接口转入,完工与入库回执回传;单据字段先做映射表,试跑一周核对数量与批次对应关系,差异逐笔确认后再切正式单据流,切换期间双向留痕。
🤝与良率分析系统对接
检测数据按批次转给良率分析系统,分析结论回写到批次记录;转出字段与频次在联调时确定,检测仪直连的数据经中间库落表,避免两边各存一份对不上账。

🧩生态协同与能力底座

🧩设备自动化软件商
机台采集与控制由设备自动化软件承担,双方按事件接口分工;接口清单与责任人写进联调方案,版本升级前互相通知,联调记录双方各留一份存档备查。
🔗自动化产线集成商
新建产线的输送与仓储由集成商交付,MES在其调试完成后接入;接入前核对点位表与批次规则,试运行期间联合值班,问题按归属方派单处理并跟踪关闭。
🌱半导体设备原厂
机台协议与参数字典以原厂资料为准,升级版本时核对接口变化;差异项由原厂与实施方联合验证,验证结论写进设备档案,作为后续维护与再次升级的依据。

🚀产品差异化特点

🌟面向半导体工艺设计
不同于通用制造执行软件按装配工序组织,系统按晶圆批与片号管理流转,重入、返工与批次合并等工艺路径原生支持,不必二次开发改造流程模型。
🆚分布式可拆分架构
服务按模块拆分部署,单点故障不扩散,稳定性面向连续生产场景设计;硬件配置要求宽松,常用X86服务器即可运行,扩容时按模块加节点即可。
🧬改造与新建两类路径
源于全自动化工厂设计,新建产线可全量接入,老厂改造可分区域并行切换;两套实施路径各有清单与验收口径,切换期间生产不停线,风险分区域消化。

✅最佳实践

📝
阶段一 工艺路线梳理
先把重入、返工与并行工序在图纸上理清,再录入系统配置;路线不清就上线,派工与追溯都会失真,梳理结果要工艺与生产双方签字确认后固化。
🔄
阶段二 机台接入排期
按区域给机台排接入计划,先接关键工序验证采集质量,再批量铺开;老设备改造前先做接口摸底,摸底结果决定走网关接入还是人工录入口。
🎯
阶段三 并行核对运行
新旧流程并行期间,每日核对批次数据一致性,差异当日归因;并行期不少于一个完整生产周期,核对记录留档,作为区域切换验收的依据之一。
📈
阶段四 常态考核运营
把派工执行率与追溯响应时长纳入月度通报,看板口径每季度复核一次;账号随人员变动及时调整,离岗账号当日停用并登记原因,季度复核权限清单。

🗺️企业落地路径

1️⃣
阶段一 流程与主数据
导入工艺路线、机台与人员主数据,完成环境部署与权限初始化;先在一个区域试运行批次流转,跑通后写试点小结与验收要点,再排全厂推广计划。
2️⃣
阶段二 批次追溯上线
追溯功能覆盖全厂批次,反向查询接入品质处理流程并留痕;运行两个生产周期后核对数据完整率与响应时长,达标后开启自动派工功能。
3️⃣
阶段三 派工与看板
按机台负荷启用自动派工,产出与瓶颈看板投放到车间;口径稳定后把报表接入例会,按月复盘调整派工规则与队列参数。
4️⃣
阶段四 扩展与深化
接入更多设备与检测数据,报表口径向厂级汇总统一;每年复核主数据与权限清单,随产线扩建同步扩容节点,扩容前先压测并留记录。

💬常见问题 FAQ

部署要什么环境
支持X86架构服务器与Linux、Windows操作系统,硬件配置要求宽松,常规双机即可起步;上量后按模块加节点,扩容不停服,机房按现有标准条件准备即可,不必另建专用机房。
能连PDA等终端吗
支持跨平台应用,PDA扫码报工与查询在浏览器或专用客户端完成;终端按岗位授权功能,设备丢失可远程停用账号,数据留在服务器侧不落地,终端只作入口使用。
设备数据怎么进来
通过设备接口采集机台状态与参数,半导体常用机台协议均有适配;改造产线的老设备可经采集网关接入,接不上的设备保留人工录入口,录入项与自动采集项在报表里分开标注。
批次追溯能到多细
细到单片晶圆级,记录每片经过的机台、程序版本、参数与操作员;追溯范围按批次号或片号检索,结果支持导出,保留年限按品质要求设定,到期数据归档封存不再改动。
和EAP怎么配合
设备数据采集与自动控制由EAP承担,MES负责工单与批次执行,两边按事件对接;工单下达与完工回执逐条对账,接口异常进重试队列,避免批次状态两边不一致。
现有流程要推倒吗
不必推倒,系统按现有工艺路线配置上线,先管住批次流转与追溯两个环节;后续再逐步启用派工与看板,流程调整走配置变更,不做二次开发,上线节奏可控。
日常运维谁负责
系统巡检与账号管理由工厂IT负责,工艺路线与派工规则由生产部门维护;双方职责在交付文档里写清,版本升级安排在班外窗口,升级前在测试环境验证一轮再上线。
验收按什么口径
按合同功能清单逐项演示,派工、流转、追溯与报表各跑真实批次;追溯准确率与数据完整率按约定口径做对比测试,遗留项列整改清单,整改完成双方确认签字后关闭。

📄信息来源与免责声明

本页面由云巴巴基于通达智能官方公开渠道信息整理发布,内容覆盖半导体MES系统等产品能力。

页面描述基于公开资料,晶圆厂生产管控平台相关功能的最新状态请以官方发布为准。

云巴巴提供MES制造执行系统的选型对比、方案咨询与实施对接服务,助力企业高效决策。

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