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新松 SCARA 机器人 SA10A-10/0.60

SA10A-10/0.60 属 10kg 档,臂展 600mm,垂直轴 200 毫米、可选 300 毫米,循环 0.39 秒。线缆走内槽、关节密封,可按洁净要求配置,做封装段整盒搬运。线缆走内槽、关节密封,可按洁净要求配置。
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新松 · SCARA 机器人 SA10A-10/0.60

SCARA 机器人 SA10A-10/0.60

封装段的料盒装满料有十几斤,新松 SA10A-10/0.60 按 10kg 额定负载设计,臂展 600mm,垂直轴 200 毫米、可选 300 毫米,循环 0.39 秒。底座双支撑扛住满载起停,机台内腔深也能直接够到底层。整盒搬运不必分批,节拍按盒算,掉件风险也跟着降。

十公斤负载六百毫米臂展深腔取放双支撑底座洁净可配整盒搬运
10kg
额定负载
600mm
可达臂展
0.39s
标准循环时间
300mm
垂直轴选配行程

⚠️行业痛点与挑战

🔍载具重小机带不动
装满料的料盒十几斤,4kg 档带起来就报过载。只能分两次搬,节拍翻倍还容易掉件,掉一件整批要停线找。分两次搬还多一次夹放,划伤概率翻倍。
⏱️深腔够不到
料盒放在机台内腔,普通 SCARA 垂直行程只有 200 毫米。够不到底层,只能加升降台,多一个故障点还占地方。升降台一出故障,整台机就停,备件还不好买。
🧠洁净间粒子超标
本体线缆外露、关节缝隙积尘,粒子数测不过。洁净等级验收卡住,整改要拆机,拆完还得重测一次。拆机整改要停线,重测又要排期,前后能拖一个月。
🔗换料盒要重示教
从八寸换到十二寸载具,取放高度与间距全变。每条轨迹重示教,停线一整天,排产只能往后挪。重示教还容易漏改一条,跑起来撞了才知道。
📉掉件污染整批
抓取失手掉一个料盒,碎片散在机台里。整批要隔离清检,损失按批算,客户还要失效分析报告。碎片细,吸尘器吸不干净,得拆护板一片片找。
🚧上游设备对不上
上游机台只给一个完成信号,本体不知道料盒是否到位。取早了撞、取晚了等,班组长只能一直盯着。班组长盯一天也难免漏,漏一次就撞一次。

🎯产品定位与核心价值

SA10A-10/0.60 属 10kg 档,臂展 600mm,垂直轴 200 毫米、可选 300 毫米,循环 0.39 秒。线缆走内槽、关节密封,可按洁净要求配置,做封装段整盒搬运。线缆走内槽、关节密封,可按洁净要求配置。

💡数据资产沉淀
半导体搬运机器人系统运行过程的数据被结构化留存,越用越懂业务的复利效应。
🔁低门槛上手
深腔料盒取放方案能力的使用界面贴合业务习惯,培训成本被产品设计吸收。
🧷可靠交付保障
半导体搬运机器人系统的实施配套包含培训与知识转移,团队可持续自主运营。

⚙️核心能力详解

🧮10kg 额定负载
10kg 负载能整盒搬运满载料盒,不必分批取放。节拍按整盒算,掉件风险也低,一个循环就能干完。整盒进出,夹爪只开合一次。
🧱垂直轴可选 300
垂直轴 200 毫米为标准,可选 300 毫米。机台内腔深也能直接够到底层,省掉升降台与一套限位。深腔取放不必再配升降机构。
⚡底座双支撑
底座双支撑提升刚性,10kg 满载起停时末端不甩。料盒在夹爪里不偏移,入位不用靠导向硬挤。重载下轨迹不飘,入位更准。
📊0.39 秒循环
循环 0.39 秒,重载下仍保持节拍。配合双料位错开,取放不互相等,封装段不容易堆料。双料位错开,取放不互相等。
🌐洁净可配
线缆走内槽、关节加密封,台面可做不锈钢。减少积尘点,粒子数更容易过,日常擦拭也方便。擦拭方便,日常维护省事。
🔧配管丰富
气管、信号线与真空管都预留在本体内,末端改造不用另挂拖链,走线整齐也好检修。末端改造不必再拉拖链。

📐技术规格

产品名称 SCARA机器人SA10A-10/0.60
所属厂商 新松
产品分类 智能机器人·半导体搬运机器人系统
核心能力 10kg 额定负载、垂直轴可选 300、底座双支撑
应用场景 晶圆载具搬运、引线框架上料、料管换盘
能力颗粒度 半导体搬运机器人系统可按深腔料盒取放方案场景的规模逐级启用,初期投入可控
协同机制 晶圆载具搬运方案与半导体搬运机器人系统的接口在实施阶段一并确认,避免后续返工
运维归属 半导体搬运机器人系统的日常运维责任可在实施阶段明确并交接
适用阶段 深腔料盒取放方案场景的不同阶段均有对应配置,无需整体重建

🏭典型应用场景

✈️晶圆载具搬运
封装线操作工把满载载具放上进出料台,本体整盒取起送入机台内腔,放到位后回信号。班组按单班搬运盒数与掉件数核对,盒盖要扣紧再取。盒内隔纸要先取出,带纸搬会打滑。
🚗引线框架上料
上料位由操作工换料匣,本体从匣内逐片取引线框架送入导轨,取空提示换匣。按单班上料片数与卡料次数衡量,片材变形要挑出。匣内片距要一致,歪一片就卡导轨。
🔋料管换盘
料管盘满后由操作工换盘,本体把料管从盘上取下插入机台料道,插偏报警。按单班换盘次数与卡管停机时长核对,管口毛刺要修。管口毛刺先修,硬插会刮伤料道。
🌊封装模具取放
模具工位由工艺员给出取放高度,本体把模盒从预热台搬到压机,放平后回信号。按单班周转次数与模盒磕碰数衡量,模温高要留等待。模盒放平后再退夹爪,斜着会蹭压机。
🏗️载带收放
编带机旁由操作工上盘,本体取载带盘挂到收料轴,张力由设备控制。按单班换盘数与断带次数核对,盘位每次复位。盘芯要卡紧收料轴,松了跑偏就断带。断带要停机接,接不好整盘报废。
🚢洁净间跨机转运
两机台之间由操作工放中转台,本体从一台取盒放到另一台,路径避开风淋口。按单班转运盒数与等待时长衡量,中转台要有定位。转运路线要避开风淋口正对区,否则粒子被吹起来。

🏆典型应用案例

📦
载具先称重再定档
把满载载具与夹具一起称,含末端总重不超过额定再选机型。偏心件按负载曲线折算,收益按过载报警次数与掉件数核对。称完在设备上挂牌,写清总重与偏心距。换料盒规格要重新称,别沿用上一批数据。
🛫
深腔用三百毫米轴
量机台内腔深度与料盒层高,垂直行程不够就选 300 毫米轴。别加升降台,收益按故障点数量与维护工时核对。量内腔按最低层料盒算,别按最上层。轴选长了要确认回零高度,否则会顶到罩壳。
🏭
洁净从走线改起
线缆改内槽、关节加密封、台面换不锈钢。粒子数按班测一次并记录,收益按洁净验收项与整改停机时长核对。密封件选耐酒精的,普通橡胶几个月就发硬。改造完先测静态粒子再跑动态,两步都留记录。
📦
换型做盒型参数
把八寸与十二寸载具的取放高度、夹持宽度存成参数组。换型调组号并换夹爪,收益按换型停机时长与首件废品数核对。参数组按盒型编号贴在夹爪旁,换爪时一起换牌。首件量取放高度,偏差超过零点二毫米就重调。

🔌接入方式

🖥️上游机台与轨道
机台给到位与允许取料信号,本体回取料完成。信号要成对,只有完成没有允许,取早了就撞。取料允许要等到位信号稳定后再给,信号抖动会让本体提前动作,一提前就撞。
☁️载具与夹爪
夹爪按盒型做快换,带真空与到位双检测。夹持宽度可调但要锁死,跑一段时间会松。夹持宽度调到盒型后要锁死,跑一段时间会松。真空回路要独立,和吹气共用一路会互相干扰。
🤝厂务洁净与监控
粒子监测与压差信号接入线体,超标时联锁停机。本体状态要进设备监控,否则查不到哪台先超标。联锁要能手动旁通并留记录,否则调试期天天拆线。旁通状态要有明显提示,不能悄悄开着。

🧩生态协同与能力底座

🧩封装设备商
封装段多由设备商整机交付,本体作为上下料单元嵌进去。接口与洁净要求在前端定义,后补密封要拆机。本体厂要提前拿到机台接口清单与洁净等级,不然方案对不上。
🔗载具与夹爪供应
载具标准由晶圆厂定,夹爪要按盒型定制并做洁净处理。材质产尘会让粒子数过不了,材质证明要随货。夹爪材质要报备,含硅橡胶的要确认是否产尘,过不了就换材质。
🌱备件与洁净服务
密封件、同步带与夹爪是常换件,需按洁净要求包装入库。服务人员进洁净间要按厂务流程报备。服务人员进洁净间要提前报备,临时叫人进不去,停机时间会拖长。

🚀产品差异化特点

🌟比 7kg 档能整盒搬
7kg 档搬满载盒要分批,10kg 档整盒一次过。节拍与掉件风险都低,封装段负载需求不同,别混选。整盒搬运省一次抓放,节拍与掉件都少,封装段按盒算产出更直观。
🆚比加升降台省故障点
垂直轴可选 300 毫米,深腔直接够到。加升降台多一套电缸与限位,维护与洁净都是负担。升降台还要占内腔空间,改了之后料盒位置要重排,等于二次设计。
🧬比六轴少占洁净面积
洁净间按面积算成本,六轴加围栏占一大块。SCARA 台面安装、水平臂作业,同样工位占地更小。洁净间按每平方米造价算,占地小就是省钱,人流物流也更好排。

✅最佳实践

📝
先称满载总重
载具、料与夹爪一起称,再对负载曲线。只按料重选型,装上去就过载报警,返工还得换机型。称重要含线缆与气管的拖拽力,硬拉会让读数偏小,选型就偏乐观。
🔄
洁净改造要拆机
密封与走线改造要拆关节,建议在出厂前定。现场改容易留缝,粒子数反而更差。改造前先和厂务确认能否停机拆机,洁净间拆机要重新更衣清洁,时间比想象长。
🎯
双检测不能省
真空与到位只装一个,掉件查不出原因。两个信号都成立才允许动作,接线要独立,别共用一路。两路信号分接不同输入点,共用一个点分不清是真空失效还是没到位。
📈
换爪后复测高度
快换夹爪重复定位有偏差,换完要复测取放高度并跑首件。不复测就批量,整批高度全偏。复测用标准块,别用产品件,产品件本身有公差,测出来分不清是夹具偏还是件偏。

🗺️企业落地路径

1️⃣
封装段测算
量载具满载重量、内腔深度与节拍,确认洁净等级。出夹爪与垂直轴方案,核定安装位与维护通道,同时确认机台罩壳高度与吊装门宽。
2️⃣
单机试跑
在机台旁试跑整盒搬运,固化取放高度与夹持宽度。留八小时连续记录与掉件统计,作为验收基线,空盒试跑的数据不能直接拿来用。
3️⃣
接机台与监控
接上游机台 I/O 与厂务监控,做超标联锁,联锁要能锁住取料动作。急停与上游断电两种情况都要测,再并入封装线,单机数据好看不代表并线能跑。
4️⃣
多盒型移交
把各盒型的参数组、换爪步骤各做一张卡,操作工照卡换型。交出点检表与洁净备件表,首月跟班,之后按月复核粒子数据,缺项算未完成。

💬常见问题 FAQ

10kg 够不够搬满载盒?
要看满载总重加夹具,超过 10kg 就得换档或分批。重心偏离法兰越远允许值越低,按负载曲线折算,别按铭牌硬算。另外要看料盒是否叠放,叠两层重心更高,可用负载还得往下调,按曲线折算。
垂直轴要选 300 吗?
机台内腔深度加料盒层高超过 200 毫米就得选。够不到只能加升降台,多一个故障点,先量内腔再定。选 300 毫米轴要确认机台罩壳高度,行程长了起停惯量也大,安装面要加固。
洁净粒子怎么过?
线缆走内槽、关节加密封、台面不锈钢,减少积尘点。还要确认润滑脂不挥发,排气方向别对着晶圆。排气口别对着晶圆正面,气流会把落尘带过去。过滤器按季度换,压差表要看。
和上游机台怎么接?
上游多为 I/O 握手,给到位与允许取料信号。若要 SECS/GEM,需经网关转换,本体侧不直接跑该协议。握手信号要有超时判断,机台不给允许就一直等,别硬取。超时报警要能看出是上游没给。
掉件怎么防?
夹爪加真空检测与到位检测,双信号都成立才动作。掉件要停线清检,碎片留在机台里会划伤下一批。夹爪建议带自锁,断气时料盒不掉。掉件后要清机台内腔,碎片不清会划伤下一批。
换载具规格停多久?
夹爪快换加盒型参数组时,换型就是换爪加首件确认。夹爪要带定位销,装回后复测取放高度再放量。靠重示教找位置,等于每换一次重做一台设备。
维护归谁?
本体、控制器归设备科;夹爪、载具归工艺;洁净维护归厂务,三家签字。日检项与备件归属写进交接单。备件按模块备,别整机备。洁净间用的备件要按洁净包装入库,拆包要在风淋之后。
封装段验收看哪几项?
看单班搬运盒数、掉件数、换型停机时长,另记粒子检测结果与报警次数。只测空载节拍不算,按量产工况做。另记一次连续运行八小时的粒子曲线,只看抽检点数看不出波动。

📄信息来源与免责声明

本页面由云巴巴汇总新松官方公开资料,聚焦半导体搬运机器人系统在智能机器人领域的实际业务价值。

页面所述深腔料盒取放方案能力基于公开信息整理,具体实现与指标口径以官方文档为准。

云巴巴为企业提供SCARA机器人SA10A-10/0.60的选型咨询、方案对比与接入协调服务。

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